자동 원형 슬롯 경로

원형 슬롯의 너비에 따라, PC-DMIS 는 측정을 수행할때 이들 경로중 하나를 사용한다:

경로 1: 좁은 폭

줄의 사용가능한 부분보다 작은 너비를 가진 슬롯

(A) - 스캔 이동(움직임)

평면 2: 보다 큰 너비

줄의 사용가능한 부분보다 큰 너비를 가진 원형 슬롯