특성 또는 패치 스캔은 스캔 라인의 너비보다 크고, 프로브의 다수의 통과(스캔)는 수행된다. 그 경우에, 이 매개변수는 각 통과가 얼마나 이전 통과와 겹칠지를 제어한다. 초기설정 값은 1.0 mm 이다.