이 레지스트리 항목은 용인되는 스테이지 이동을 위한 허용범위를 제공한다. 지점 찾기 중에, 스테이지 지점은 지점 찾기 명령이 주어질때 기록된다. 지점 찾기 명령이 완료되고, (XYZ) 축의 스테이지 지점이 기록된 스테이지 지점과 다르고, 이 차이가 이들 XYZ 값보다 크면, PC-DMIS 는 스테이지가 이동했다고 간주한다.
이 값은 AutoShutterEnable 레지스트리 항목이 TRUE (1) 로 설정되었을때만 계산된다. 스테이지가 안정되지 않으면, 지점 찾기는 신뢰할 수 없다.
입력명: (XYZ)AutoShutterStageDriftAllowance
입력 유형: 허용될 수 있는 거리를 정의하는 실수 값. 다음은 기본값이다:
X 와 Y 의 경우
0.00001
Z 의 경우
0.00002