영구접촉 값 각각에 영향을 미치기 위해 DccPermHits 값을 사용한다.
초기 와 Perm(영구) 목록은 자동 특성을 위해 수행된 샘플 접촉의 수를 선택할 수 있게 한다. 이들 접촉은 이론상의 지점 위치 주위에서 평면을 측정하는데 사용된다.
초기 샘플 접촉은 측정 루틴의 실행중에 특성의 초기 측정에서만 수행된다.
영구 샘플 접촉은 측정 루틴 실행중에 모든 이후의 측정을 위해 사용된다.
다음의 도표는 샘플 접촉을 사용하는 자동특성들과 샘플 접촉들이 그 특성의 측정에 어떻게 사용되지는를 보여준다.
입력명: PTP_SampleHits_
입력 유형: 정수. 기본값은 0 (영) 이다.