溫度測頭的工作原理類似於一般測頭。當感應器接觸到工件時，開始進行測量。
溫度觸測點可為：
測量點
向量點
您必須沿溫度測頭感應器的向量方向測量溫度觸測點。當選取某一溫度感應器作為測頭測尖並測量點時，PC-DMIS 會沿使用中的溫度測頭的向量方向驅動 CMM，同時忽略測量點或向量點的理論向量。此動作可確保測量值正確無誤，以及溫度感應器接觸到工件的正確部位。
溫度測量方法
PC-DMIS 支援以下溫度測量方法；但是，這一功能依存於正在使用的特定 CMM 的功能。一些 CMM 僅支援一種測量方法。例如，帶 B4 Leitz 控制器的 CMM 僅支援兩種測量方法。
與工件接觸一定時間（接觸時間）後，測量溫度：
在此方法中，感應器與元件保持接觸一段時間。將連續測量溫度，以確定工件的溫度。大部分支援此模式的 CMM 都設定預設接觸時間，通常被稱為「延遲時間」。
要測量接觸時間（而不是預設時間）內 CMM 的溫度，您必須指定所需的接觸時間，方法是在點執行測量前，在 PC-DMIS 測量常式的某個地方插入相應的「指定」。指定變數的名稱為：
TEMPSENSOR_CONTACT_TIME_SECONDS
指定範例為：
ASSIGN/TEMPSENSOR_CONTACT_TIME_SECONDS=30
接觸時間的選取依存於溫度感應器的敏感度。如果時間太短，則工件溫度的讀數可能有誤。
沒有必要一定要在測量常式中插入「指定」陳述式。祇有當不使用 CMM 預設值時，才需要進行此操作。
按外推法測量溫度：
在此方法中，感應器與元件僅接觸一會，元件溫度根據幾個測量值推算得出。若使用「指定」陳述式將接觸時間指定為 0，則 PC-DMIS 將嘗試使用外推法（如果 CMM 支援此功能）。在此情況下，控制器對溫度測量時間進行控制。
接觸時間為 0 的指定為：
ASSIGN/TEMPSENSOR_CONTACT_TIME_SECONDS=0
要啟用外推法，將接觸時間指定為 0。要停用外推法並使用指定的時間間隔，將接觸時間指定為大於 0 的值。
測量大工件的溫度
您可能想在不同位置測量大工件的溫度。在此情況下，溫度補償將基於溫度讀數的平均值。為此，您應測量多個溫度點。PC-DMIS 將記錄平均溫度。
多次測量溫度
多次測量溫度時，PC-DMIS 將記錄每次的溫度，並對 TempComp 命令使用平均溫度。執行 TempComp 命令時，會重設讀數總和，以為隨後的溫度讀數開始記錄新的平均值。此外，還記錄平均溫度。更換測頭後，亦重設讀數總和。
若要重新測量溫度，則必須執行 TempComp 命令，在重新測量前，重設所記錄的溫度。
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