每個 CMM 都會使用與具體測量機相關的參數（如導熱係數、感應器分配等）爲每個軸進行溫度補償。這些參數與通知 PC-DMIS 此檔案是結構性補償檔案或線性補償檔案的嵌格代碼一起，存放於 CMM 供應商建立的專用 STP 檔案（檔案的副檔名爲 .stp）內。
PC-DMIS 需要這些 STP 檔案進行溫度補償。
進行溫度補償前，務必確保硬碟的相應位置處已存在這些 STP 檔案：
DEA 結構性溫度補償」方法將在 C:\Thermal_OCX 目錄中查找 Serv1.stp 檔案。
DEA 線性溫度補償」方法將在 C:\Program Files\Thermal_OCX 目錄中查找 Serv1.stp 檔案。
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