熱電偶即用來測量溫差的溫差電偶。
若對 CMM 執行溫度補償，需在常式中插入兩條溫度補償命令 — 臂 1 一條，臂 2 一條。此外，僅使用連接臂 1 控制器之工件的熱電偶記錄工件溫度。
除了臂 2 計算機上的相應目錄中要有 STP 檔案 (Serv1.stp) 外，還必須確定臂 1 計算機的相應目錄上也有臂 2 的另一個 STP 檔案（名稱爲 Serv1s.stp）。要實現此番操作，請從臂 2 計算機複製 Serv1.stp，並將其重新命名爲 Serv1s.stp，再放到臂 1 計算機上。
爲 TEMPCOMP 命令同步兩臂
一旦插入 TEMPCOMP 命令，需確定雙臂同步。方法是：插入兩條 MOVE/SYNC 命令，一條插入指派給臂 2 的 TEMPCOMP 命令的前面，一條在其後面，如下所示：
圖中反白顯示的項目是臂 2 TEMPCOMP 命令週圍的兩條 MOVE/SYNC 命令
第一條 MOVE/SYNC 命令提供向報告中寫入溫度值的正確序列。該序列可確定先顯示臂 1 的溫度值。
第二條 MOVE/SYNC 命令用於防止臂 2 在臂 1 獲取工件溫度結束前執行測量。