該登陸項目指定工作臺漂移的容限。在檢測點的過程中，發出檢測點命令時將記錄工作臺的位置。若點檢測命令執行完畢時，工作臺在 (XYZ) 軸的位置不同於所記錄的工作臺位置，且其差量大於此處指定的 XYZ 值，PC-DMIS 將認爲工作臺發生漂移。
僅在AutoShutterEnable 登陸項目設爲 TRUE (1) 時計算此值。若工作臺不穩定，點的檢測亦不可靠。
項目名稱： (XYZ)AutoShutterStageDriftAllowance
項目類型：定義允許距離的實數值。這些是預設值：
為 X 和 Y
.00001
為 Z
.00002