提供軟體用於考慮相鄰點位於同一平面中的微米數。超出偏差極限值的點不包括在有效點的子集中。該值應在 1-60 之間。它被稱爲智慧型密度管理密度類型的「平面度公差」。
項目名稱： DeviationLimit
項目類型：整數，用於指定距離（單位爲微米）。預設值爲 15。