如果 FocusFindSurface 登錄項目設為 TRUE，則此登錄項目確定 PC-DMIS 搜索焦點位置的距離。一旦找到對焦位置，PC-DMIS 將在該區域執行快速對焦掃描。
項目名稱： FocusSurfaceVarianceMM
項目類型：實數，用於指定距離（單位爲像素）。預設值爲 5。