這個值是 Leitz 介面特有的一個參數。這個值可以讓 CMM 知曉測頭進入工件內進行測量時，接近向量應保持何等小心。
值越小，測量機達到理想位置的難度就越大。不過，值越小，測量精度亦就越高。一般情況下，應保留此值的預設值。
項目名稱： MoveAccuracy
項目類型：實數，值的單位爲公釐。預設值爲 0.1。