測尖偏移校驗依據工作台上的工具位置進行。當完成測尖校驗並表示已移動工具時，可依據測尖偏移確定工作台上的工具位置。若尚未校驗測尖，則會使用 probe.dat 資料中的標稱測尖偏移。
爲測尖偏移校驗保留一個公用參照系十分重要。使用公用工具校驗多個測尖時，這些測尖的偏移參照系相同。若第二個工具表示發生了移動，可將此參照系延展到第二個工具，並使用第一個工具上校驗的測尖來執行此測尖偏移校驗。使用同一個參照系中的測尖測量的特徵位置，應產生相同的結果（在設備測量能力之內）。若所校驗的工具上的測尖不在此相同的參照系內，並且未表示工具發生了移動，此工具的測尖校驗參照系發生改變。使用不同參照系中校驗的測尖測量的特徵，可能產生截然不同的結果。
試考慮這樣一個新系統：未校驗任何測頭或工具，測尖校驗採用球體工具和環形工具。使用球體工具校驗接觸式測頭，結果表示工具發生了移動。然後在環形量規上校驗同一個接觸式測頭，結果也表明工具發生了移動。接觸式測頭的這兩次校驗即建立起了工具與接觸式測頭之間的參照。現在，在環形量規上校驗視覺測頭。接觸式測頭和視覺測頭現在有相同的偏移校驗參照系。這兩個測頭與兩個工具的偏移校驗建立了關聯，因爲在球體工具上校驗了偏移的測頭，當環形工具表示發生了移動時，是在環形工具上校驗的。由於環形工具表示發生了移動（或其位置未知），當接觸式測頭使用環形工具校驗時，環形工具在工作台上的位置是由接觸式測頭所測的偏移決定。接觸式測頭的偏移用於確定兩個工具的工作台位置，而視覺測頭偏移則是基於這兩個工具中的一個的工作台位置。
若接觸式測頭是在球體工具上校驗，而視覺測頭是在環形工具上校驗，這兩個測頭將不能交叉參照。若接觸式測頭是在球體工具上校驗，視覺測頭在環形工具上校驗，然後接觸式測頭在環形工具上校驗，這兩個測頭就處在相同的參照系中了，但此參照系不同於球體工具或球體工具上先前校驗的任何測頭的參照系。這是因爲當環形工具表示發生了移動時，是使用視覺測頭確定環形工具的位置，但視覺測頭未在此球體工具上校驗。接觸式測頭的參照系將進行更新以符合環形工具。爲了維持測尖跨越多個工具時的關係，只要工具表示發生了移動（亦意味著工具位置未知），所移動的工具上使用的校驗測尖必須在第一個工具的參照系中。
僅可對環形量規上星形測尖接觸式測頭的底部測尖進行校驗。可使用球形工具或者將球形工具與環形量規結合使用，以便在測頭星形測尖與視覺測頭之間提供交互參照。通常可透過校驗球形工具上所有接觸式測頭的星形測尖來完成此交互參照。然後校驗環形工具上的底部測尖，表明此工具已發生移動。然後校驗環形工具上的視覺測頭。之後，您即可對球形工具上的接觸式測尖以及環形工具上的視覺測頭進行校驗。