（此项目属于设置选项对话框常规选项卡上的复选框。您可以通过按 F5 键或通过编辑 | 首选项 | 设置菜单项访问它。）
此复选框可控制焦点测量结束时的工作台移动。
若选择此复选框，测量机会在焦点扫描运动结束时移回焦点位置。
若清除该复选框，焦点测量后进行移动或测量时，测量机将不会移至焦点位置。但是，测量机会从焦点扫描顶部直接移至下一个测量机位置。