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LSPX1 / HR-X (HR-X1-3P) 测头更换架的校验过程描述了使用 PC-DMIS 支持的测头更换架所需的准备步骤。此处所述的过程专用于 LSPX1 / HR-X (HR-X1-3P) 测头更换架。
LSPX1 / HR-X (HR-X1-3P) 测头更换架与LSPX1S和LSPX1M测头一起使用，它需要一个特殊的圆柱形测针来校准它。
不对任何一个端口位置使用插入件或扩展。
Leitz LSPX1 / HR-X (HR-X1-3P) 独立测针更换架
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带有 TESASTAR-R / HR-R 平台的 Leitz LSPX1 / HR-X (HR-X1-3P) 机架
此测针更换架不必安装在平行于 X 或 Y 轴的机台上。但是，这些更换架所固定的角度必须符合加载和卸载的可用测座角度。如需安装指示，请参考测头更换架随附的文档。
为校验用户测头更换架：