热电偶是一对测量温差的热电元件。
若对 CMM 执行温度补偿，需在例程中插入两条温度补偿命令 — 臂 1 一条，臂 2 一条。此外，仅使用连接臂 1 控制器的零件的热电偶记录零件温度。
除了确保辅臂计算中包含STP（Serv1.stp）文件外，还要保证主臂电脑在相应的文件夹中也包含副臂所需的STP(Serv1s.stp)文件。操作方法为，将Serv1.stp文件从副臂电脑中复制到主臂电脑，并更名为Serv1s.stp。
测量臂同步温度补偿命令
一旦插入 TEMPCOMP 命令，需确定双臂同步。方法是：插入两条 MOVE/SYNC 命令，一条插入指定给臂 2 的 TEMPCOMP 命令的前面，一条在其后面，如下所示：
图中突出显示的项目是臂 2 TEMPCOMP 命令周围的两条 MOVE/SYNC 命令
第一条移动/同步命令保证写入温度值到报告的正确顺序。该序列可确定先显示臂 1 的温度值。
第二条 MOVE/SYNC 命令用于防止臂 2 在臂 1 获取零件温度完成前执行测量。