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이 레지스트리 항목은 방사형 또는 사각형 패턴이 자동 평면 특성을 측정하기위해 수행된 접촉을 위해 사용되는지의 여부를 결정한다.
입력명: DccPlnPattern
입력 유형: 패턴을 지정하는 정수. 이것은 사각형 패턴 (0) 또는 방사형 패턴 (1) 일 수 있다. 기본값은 0 이다.