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이 레지스트리 항목은 측정에 필요한 정확도를 결정할 수 있게 한다. 이 값이 충족되지 않으면 어떤 측정도 수행되지 않으며, 오류 메시지가 주어진다. 일반적으로 기본값을 유지해야한다.
입력명: ProbeAccuracy
입력 유형: MM 을 명시하는 실수. 기본값은 0.1 이다.