下位レベルマトリクス校正の実行

次の場合に、SP600の下位レベルマトリクスを再実行する必要があります:

前提条件

以下の較正手順に従う前に、これらの前提条件を満たすのを確認してください:

校正手順

  1. [プローブ ユーティリティ]ダイアログ ボックスにアクセスします ([挿入 | ハードウェア | 定義 | プローブ])。

  2. アクティブなチップ一覧に必要なチップ角度が存在することを確認します。

  3. アクティブなチップ一覧から参照点として使用する角度を選択します。多くの場合、この角度は Z-方向の角度であるはずです。水平方向のアームがない場合、この角度は通常 T1A0B0 チップです。

  4. 測定ボタンをクリックして、プローブの測定ダイアログボックスを開きます。

  5. 操作の種類エリアより、下位マトリクスオプションボタンを選択します。このオプションは、より低いマトリックスをサポートする測定機形式と、より低いマトリックスを必要とするプローブタイプを使用してオンラインモードで作業する場合にのみ表示されます。

  6. 必要に応じて、プレヒット/撤回移動速度及びタッチ速度ボックスの値を変更します。

  7. 利用可能なツールの一覧リストより、適当なツールを選択します。

  8. 測定ボタンをクリックします。注意喚起のメッセージが表示され、続行するとコントローラー自体の下位レベルマトリクスに関する機械固有のパラメータが変更されることが告げられます。はいを押して校正を続行します。

  9. PC-DMIS は校正ツールが移動したかを聞くもう一つのメッセージを表示します。はいまたはいいえをクリックします。

  10. 次に、校正ツールに垂直なヒットを取るか尋ねるメッセージが出力されます。Z-の位置から作業している場合は、ツールの最頂点でヒットを取ります。このヒットを取った後、作業が開始され校正ツールの中心位置が決定されます。下記のヒットが取られます:

  1. ツールの中心位置が検出されたら、下位レベルマトリクスの校正が実際に開始されます。ほとんどのアプリケーションでは、PC-DMISは、合計110ヒットから校正球のX +、X-、Y +、Y-、およびZ +極で22ヒット(一方向に11ヒット、別の方向に11ヒットでクロスパターンを形成)を取得します。この処理は通常、完了まで5分から10分かかります。

  2. 次に、9つ数字が表示され、これらの数字が正しいかを尋ねるメッセージが表示されます。これらは下位マトリクスの値です。プローブをZ-方向に向けて校正を開始した場合、ZZ値(3行3列目の値)は0.14から0.16になるはずです。他のすべての値が0.1またはこの以下でなければなりません。

  3. 数値が正しければ、OKをクリックします。PC-DMISは、コントローラーの下位レベルのマトリックス値を新しい値で上書きします。完了すると、PC-DMISは続行してもよいことを確認するように求めます。一部の測定機タイプでは、PC-DMISは、値を更新するために測定機に緊急停止コマンドを送信する必要がある場合があります。その場合は、プロンプトが表示されるのを待ってから、[OK]をクリックする前に測定機を再起動してください。

  4. メッセージボックスからOKをクリックします。

PC-DMIS は [プローブのユーティリティ] ダイアログボックスを再度表示します。アクティブなチップ一覧にある参照チップが校正されていないことに注意してください。下位レベルの校正では、実際のチップ角度は校正されません。チップ角度は上位レベルのマトリクス校正処理を実行したときに校正されます。

下位レベルのマトリクスの値が妥当でないと、スキャン ルーチンの際に問題が発生したり機械がスキャンを完了できないことがあります。さらに、不正確な値が返されます。