(XYZ)AutoShutterStageDriftAllowance

このエントリは許容できるステージドリフトのための許容を提供します。点検出中、PC-DMISは点検出コマンドを発行した時点でのステージ位置を記録します。点検出コマンドが完了する時点で、(XYZ)軸のステージの位置が記録されたステージの位置と異なっていて、この違いがこれらのXYZ値より大きいなら、PC-DMISは、ステージが漂流したと考えています。

AutoShutterEnable エントリを 1 (TRUE) に設定する場合にのみ、ソフトウェアはこの値を評価します。ステージが不安定な場合、点の検出は高い信頼性を持ちません。

エントリ名: (XYZ)AutoShutterStageDriftAllowance

エントリタイプ： 許容距離を定義する実数値。これらはそのデフォルト値です：

オプションキー