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このエントリはフォーカスを実行する距離(MM単位を使用する測定ルーチン用)を提供します。測定機はこの値を使用して、最良の焦点位置に関してZ方向に検索します。
エントリ名: FocusRangeMM
エントリタイプ:距離 (mm) を指定する実数。デフォルト値は5です。