この設定の値は、一覧表示されたプローブタイプに使用できるパラメータです。この設定の詳細については、この設定の汎用バージョン（「MoveAccuracy」）を参照してください。
エントリ名: MoveAccuracy_(LSPX1C,LSPX1H,LSPX1M,LSPX1S,LSPX3,LSPX5,SP25,SP600,SP80)
エントリータイプ: MMの距離を指定する実数です。各プローブタイプのデフォルト値を以下に示します。
デフォルト値の一覧
| ﾌﾟﾛｰﾌﾞ型式 | デフォルト値 |
| LSPX1C | 0.1 |
| LSPX1H | 0.1 |
| LSPX1M | 0.1 |
| LSPX1S | 0.1 |
| LSPX3 | 0.1 |
| LSPX5 | 0.1 |
| SP25 | 0.1 |
| SP600 | 0.1 |
| SP80 | 0.1 |