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このエントリは、同焦点校正の各マップステップ測定中における焦点サンプルの数を指定します。サンプルの結果は平均されて保存されます。
エントリ名: ProbeQualVisionParCalibrationFocusSamples
エントリタイプ:サンプル数を指定する整数。デフォルト値は3です。