ProbeToolOverI, ProbeToolOverJ, ProbeToolOverK

「ProbeCalOrder」を 1 (TRUE) に設定すると、これらの IJK ベクトル値は、PC-DMIS が最も効果的な順番を決定して、すべてのチップを測定するために使用するベクトルを指定します。

エントリ名: ProbeToolOverI、ProbeToolOverJ、ProbeToolOverK

エントリタイプ: ベクトル値を指定する実数。デフォルト値は ProbeToolOverI および ProbeToolOverJ で 0、ProbeToolOverK で 1 です。