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VFTスキャンパラメータの最初のセットのためにLSP- X1Mプローブに適用されるオフセット力を定義します。
エントリ名: VFTScan_LSPX1M_OffsetForce1
エントリタイプ:LSP- X1Mのプローブを使用する際にVFTスキャンパラメータの最初のセットにニュートンでスキャンオフセット力を指定する実数です。デフォルト値は 0.03 です。