プローブチップのオフセット校正はステージ上のツールの位置に基づきます。チップが校正されツールが移動した場合、ツールのステージ上の位置はチップのオフセットに基づいて決定されます。チップが校正されていない場合、probe.dat データより公称チップのオフセットが使用されます。
チップのオフセット校正には共通の基準フレームを維持することが重要です。共通のツールを使用して複数チップを校正する場合、チップは同じオフセット基準フレームを持つことになります。この基準フレームは2番目のツールが移動したと指示して最初のツールで構成されたチップを用いてチップのオフセット校正を行うことで2番目のツールへ拡張可能です。同じ基準フレームのチップで測定された要素の位置は (装置の測定性能の範囲内で) 同じ結果を生ずるはずです。同じ基準フレームでないツールでチップを校正し、ツールが移動したと指示しない場合、基準フレームのチップ校正はそのツールに変更されます。異なる基準フレームで校正されたチップを用いて校正された要素は全く別の結果を生じる場合があります。
プローブやチップが校正されて折らず球やリングツールがチップの構成に使用されていない場合は新しいシステムと考えてください。球状ツールを使用してコンタクトプローブを校正し、ツールが移動したと伝えます。次に、リングゲージで同じコンタクトプローブを校正し、ツールが移動したと伝えます。このコンタクトプローブチップの2つの校正によりツールとコンタクトプローブチップの間に基準点が設定されます。ここで、Vision プローブのチップをリングゲージで校正します。こうすると、コンタクトプローブチップおよび Vision プローブチップが同じオフセットフレーム校正基準を持つようになります。球ツールでオフセット校正されたプローブはリングツールが移動したと伝えたときにリングツールで校正されたので、2つのツールを用いた 2つのプローブのオフセット校正はリンクされています。リングツールが移動したと(または位置が未知であると)伝えたので、リングツールを用いてコンタクトプローブチップを校正すると、リングツールのステージ上の位置はコンタクトプローブチップの測定されたオフセットに基づいて決定されます。コンタクト プローブチップのオフセットは両方のツールのステージ上の位置を決定するのに使用され、次に Vision プローブオフセットはこれらのツールのうちの1つのステージ位置を基準としています。
球状ツールでコンタクト プローブチップが校正され、その後 Vision プローブ チップがリングで校正された場合、2つのプローブチップは相互参照されません。コンタクト プローブチップが球状ツールで校正され、Vision プローブチップがリングツールで校正され、その後コンタクト プローブがリングツールで校正された場合、2つのプローブチップは同じ基準フレームを持ちますが、これは球状ツールや球状ツールで以前に校正されたプローブ チップではありません。これは、Vision プローブ チップがリングツールが移動したとしてその位置を決定するのに使用されたが、Vision プローブ チップは球状ツールで校正されていないからです。コンタクト チップの基準フレームはリングツールと一致するよう変更されました。ツールにわたってチップのリンクを維持するには、ツールが移動した（すなわちツールの位置が未知である）と伝えるときはいつでも直前に移動したツールで使用した校正チップは最初のツールの基準フレームにあるようにしなくてはなりません。
星型チップのコンタクト プローブの下にあるチップはリングゲージでのみ校正できます。球状ツールまたはリングゲージと組み合わせた球状ツールは星型プローブチップと Vision プローブの間でクロスリファレンスを提供するのに使用されます。通常、このクロスリファレンスは球状ツールで星型コンタクトプローブのすべてのチップを校正することで実行されます。次に、ツールが移動したと伝えてリングツールの下チップを校正します。その後、Vision プローブのチップをリングツールで校正します。それから、球状ツールでコンタクトチップを校正し、リングツールで Vision プローブを校正できます。