이 항목은 허용가능한 스테이지 이동을 위한 허용범위를 제공한다. 점 찾기 중에, PC-DMIS는 그것이 점 찾기 명령이 주어질때 스테이지 위치를 기록한다. 지점 찾기 명령이 완료되고, (XYZ) 축의 스테이지 지점이 기록된 스테이지 지점과 다르고, 이 차이가 이들 XYZ 값보다 크면, PC-DMIS 는 스테이지가 이동했다고 간주한다.
소프트웨어는 AutoShutterEnable 항목이 1 (참)로 설정된 경우에만 이 값을 계산한다. 스테이지가 안정적이지 않으면, 점 찾기는 신뢰할 수 없다.
입력명: (XYZ)AutoShutterStageDriftAllowance
입력 유형: 허용될 수 있는 거리를 정의하는 실수 값. 다음은 기본값이다:
옵션 키
값 |
옵션 |
0.00001 |
X 축 |
0.00001 |
Y 축 |
0.00002 |
Z 축 |