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FocusFindSurface 항목이 참으로 설정되면, 이 항목은 PC-DMIS가 초점 위치를 찾는 거리를 결정한다. 초점 위치를 찾았을 때, PC-DMIS 는 해당 영역에서 빠른 초점 스캔을 수행한다.
입력명: FocusSurfaceVarianceMM
입력 유형: 거리를 픽셀 단위로 지정하는 실수. 기본값은 5 이다.