ProbeFile

이 항목은 마스터 팔을 사용해서 조정을 위해 마지막으로 사용된 프로브 파일의 값을 저장하기 위해 PC-DMIS에 의해 내부적으로 사용된다.

입력명: ProbeFile

입력 유형: 마스터 프로브 파일명을 지정하는 문자열. 기본값은 없음 ( )이다.