ProbeToolOverI, ProbeToolOverJ, ProbeToolOverK

이들 IJK 벡터 값은 "ProbeCalOrder" 가 1 (참)으로 설정된 경우, 모든 팁을 측정할 가장 효율적인 순서를 결정하기 위해 PC-DMIS 에 의해 사용되는 벡터를 지정한다.

입력명: ProbeToolOverI, ProbeToolOverJ, ProbeToolOverK

입력 유형: 벡터 값을 지정하는 실수. 기본값은 ProbeToolOverIProbeToolOverJ의 경우 0이고 ProbeToolOverK의 경우 1 이다.