Ger det antal mikroner som programvaran använder för att överväga om de angränsande punkterna ligger på samma plan. Punkterna utanför gränsvärdet för avvikelsen är inte inkluderade i undergruppen med giltiga punkter. Detta värde bör vara mellan 1 och 60. Det kallas för "Planhetstolerans" för täthetstypen Intelligent Density Management..
Värdenamn: DeviationLimit
Värdetyp: Heltal som anger avståndet i mikrometer. Standardvärdet･är 15.