測定方策の利用

ユーザーは特定の自動要素に対する測定方策を使用して、PC-DMISがそれらの要素を測定する方法を変更する定義済みスキームを選択することができます。測定方策は下記のようにグループ分けされます。

すべての測定方策での結果を最良にするために、PC-DMIS設定エディタはVHSSを有効にする必要があります。

測定方法エディタ(MSE)機能を使用して、特定の方法を変更することもできます。MSEを使用すると、カスタム方法を要素レベルで変更して保存できます。さらに、すべての自動要素の設定のグループを変更して保存することができます。MSEについて詳しくは、PC-DMISコアドキュメントの「測定方策エディタの使用」を参照してください。

測定方策を選択するには下記を実行します。

  1. プローブツールボックスから、測定方策タブ(測定方策タブ)を選択します。最初にPC-DMISはデフォルトのPC-DMIS測定方策を表示します。

  1. ドロップダウン矢印アイコンをクリックし、使用したい測定方策を選択します。プローブツールボックスタブが所定の方策に適用するタブのみを表示するように変更されます。例えば、アダプティブ円スキャン (スキャンプローブに対して使用できます) 方策は下記のように表示されます。

プローブ ツールボックスのタブの実例

プローブ ツールボックスのタブ実例

  1. 方式に関するすべての既知情報を使って、測定方式タブにあるプロパティに記入します(例えば、設定詳細およびフィルタ)。

  1. 要素を試験するには試験をクリックします。

  1. 作成をクリックして下さい。要素プロパティエリアにある今測定ボタン(今測定アイコン)を選択した場合、プローブは要素位置およびその他の特性に関する自動要素のプロパティを使用して、詳細タブで指定される設定に従って移動します。

さらに詳しく:

要素の測定: はじめに