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자동 대상 측정 방법을 사용하여 특성을 측정할 때 대상 접촉 탭에 있는 대상 목록의 열 머리글에 다음 매개변수가 나타난다 (사용 가능한 측정 방법은, "비전 프로브를 사용하여 특성 측정"을 참조):
그외:
가장자리 매개변수 세트
템플릿 일치
필터 매개변수 세트